压电纳米定位台—芯明天科技_哈尔滨芯明天科技有限公司

型号/规格：

P11

品牌/商标：

芯明天科技

特点：

产品体积小巧，结构紧凑 1~3维三个规格版本可选单轴运动行程100μm，分辨率4nm 开环/闭环版本可选

分辨率：

亚纳米

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压电纳米定位台

P11 是压电陶瓷驱动的压电纳米定位台，1-3维多种规格可选，压电纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，具有超高的导向精度，定位精度可达纳米级，分辨率达亚纳米，毫秒级定位稳定时间，产品体积小巧，结构紧凑，易于集成到其他设备中。

特点：

产品体积小巧，结构紧凑

1~3维三个规格版本可选

单轴运动行程100μm，分辨率4nm

开环/闭环版本可选

应用：

显微光学 半导体测试 纳米定位 生物技术 微加工 微操作

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